[实用新型]一种气相沉积炉的保温筒

权利要求书

1.一种气相沉积炉的保温筒，其特征在于，包括支撑框架、保温板、内筒和外筒；所述支撑框架为圆筒形框架，所述支撑框架具有若干个安装口，且所述安装口沿所述圆筒形框架的周侧环绕设置；

所述内筒设置在所述支撑框架的内侧，且所述内筒贴合所述支撑框架的内壁，所述外筒设置在所述支撑框架的外侧，且所述外筒贴合所述支撑框架的外侧，所述安装口的前后两侧被所述内筒和所述外筒封闭；

所述保温板嵌设在所述安装口内，且所述保温板夹在所述内筒与所述外筒之间。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述支撑框架包括若干个环形梁和若干个支撑柱，若干个所述环形梁沿竖直方向间隔设置，相邻两个所述环形梁之间连接有若干个所述支撑柱；

相邻两个所述环形梁与位于相邻两个所述环形梁之间的相邻两个支撑柱之间围合形成所述安装口。

3.根据权利要求2所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述内筒由若干个第一弧形板拼接而成，所述外筒由若干个第二弧形板拼接而成。

4.根据权利要求3所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，位于所述支撑框架的顶端设有若干个第一螺孔；

所述第一弧形板的顶端设有外凸缘，所述外凸缘上设有第一连接孔，所述外凸缘搭接在所述支撑框架的顶端，所述第一螺孔与所述第一连接孔之间通过螺栓连接。

5.根据权利要求4所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述第二弧形板的顶端设有内凸缘，所述内凸缘上设有第二连接孔，所述内凸缘搭接在所述支撑框架的顶端，所述第一螺孔与所述第二连接孔之间通过螺栓连接。

6.根据权利要求5所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述支撑框架的底端设有环形板，所述环形板上设有若干个第二螺孔；

所述第一弧形板的底端设有第三连接孔，所述第一弧形板的底端搭接在所述环形板上，所述第二螺孔与所述第三连接孔之间通过螺栓连接。

7.根据权利要求6所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述第二弧形板的底端设有第四连接孔，所述第二弧形板的底端搭接在所述环形板上，所述第二螺孔与所述第四连接孔之间通过螺栓连接。

8.根据权利要求2-7任一项所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述保温板的形状为弧形，所述保温板包括保温棉层、石墨纸层和保温碳毡层，所述保温棉层位于所述保温板的外侧，所述保温碳毡层位于所述保温板的内侧，所述石墨纸层位于所述保温棉层与所述保温碳毡层之间。

9.根据权利要求8所述的气相沉积炉的保温筒，其特征在于，所述环形梁和支撑柱内填充有隔热棉。