[实用新型]一种磁控溅射机有效
| 申请号： | 202222671300.5 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218932276U | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 周征华;夏伟;沈聚丰;周显君;李花 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐技术装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人： | 王丽影 |
| 地址： | 201500 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用的磁控溅射机。为保证磁控溅射机的镀膜质量，本实用新型提出一种磁控溅射机，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通。本实用新型磁控溅射机中的镀膜腔上的抽气口靠近溅射靶位并与抽气系统连通，抽气系统在进行抽真空工作时，可通过抽气口将镀膜腔中的气体抽出，从而可使得溅射靶位周围的气氛保持一致，即使溅射靶周围的气氛保持一致，进而可提高本实用新型磁控溅射机的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 | ||
【主权项】：
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