[实用新型]一种磁控溅射机

权利要求书

1.一种磁控溅射机，其特征在于，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通；所述镀膜腔的侧壁上设置有三个所述抽气口，且所述抽气口位于两个相邻的所述溅射靶位之间；所述抽气系统包括抽气罩、抽气管和抽气泵，所述抽气罩罩设在所述抽气口上并安装固定在所述镀膜腔的外壁上，且所述抽气罩通过所述抽气管与所述抽气泵连通。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射机，其特征在于，所述抽气罩开拆卸地安装固定在所述镀膜腔的外壁上。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射机，其特征在于，所述抽气管包括抽气主管和抽气支管，所述抽气主管与所述抽气泵连接，所述抽气支管连接所述抽气罩和所述抽气主管。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射机，其特征在于，所述抽气支管的两端设置有软管，且该软管通过锁紧卡箍与对配件连接。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的磁控溅射机，其特征在于，所述镀膜腔的侧壁上设置有初抽气口，且该初抽气口靠近所述镀膜腔的底部并与所述抽气系统连通。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射机，其特征在于，所述初抽气口通过初抽气管与所述抽气系统中的初抽气泵连通。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射机，其特征在于，所述初抽气管穿过支撑架与所述初抽气口连通，且所述支撑架包括支撑环和支撑板，所述支撑环套设在所述初抽气管上，所述支撑板位于所述支撑环和所述镀膜腔之间并连接所述支撑环和所述镀膜腔的外壁。

8.根据权利要求7所述的磁控溅射机，其特征在于，所述支撑架包括至少三个所述支撑板，且所述支撑板在所述初抽气管的四周呈均布设置。