[实用新型]镀膜载板及镀膜设备

摘要

本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了镀膜载板及镀膜设备。本实用新型公开的镀膜载板包括具有相对设置的第一承载面和第二承载面的载板本体，第一承载面设置多组第一承载部，第二承载面设置多组第二承载部，且多组第一承载部与多组第二承载部沿第一方向交错设置；任意一组第一承载部包括沿第二方向间隔布置的多个第一承载部，第一承载部用于固定硅片，第一承载部具有第一预留边，第一预留边用于将硅片放入第一承载部，或将硅片从第一承载部中取出。这种镀膜载板能够直接将硅片插入第一承载部，避免了固定件的拆卸导致的工作效率低，且交错设置的第一承载部和第二承载部解决了相邻的第一承载部之间无法将硅片放入、取出的问题，提升镀膜效率。