[实用新型]镀膜载板及镀膜设备

说明书

本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了镀膜载板及镀膜设备。本实用新型公开的镀膜载板包括具有相对设置的第一承载面和第二承载面的载板本体，第一承载面设置多组第一承载部，第二承载面设置多组第二承载部，且多组第一承载部与多组第二承载部沿第一方向交错设置；任意一组第一承载部包括沿第二方向间隔布置的多个第一承载部，第一承载部用于固定硅片，第一承载部具有第一预留边，第一预留边用于将硅片放入第一承载部，或将硅片从第一承载部中取出。这种镀膜载板能够直接将硅片插入第一承载部，避免了固定件的拆卸导致的工作效率低，且交错设置的第一承载部和第二承载部解决了相邻的第一承载部之间无法将硅片放入、取出的问题，提升镀膜效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及镀膜载板及镀膜设备。

背景技术

薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，具有转换效率高、温度系数低等特点，需要利用化学气相沉积(CVD)工艺在表面织构化后的N型晶体硅的沉积薄膜。

镀膜载板是镀膜工序中的一个装载工具，其作用是承载待镀膜的基片，现有技术中的镀膜载板通常在载板上设置多个用于承载硅片的承载区，承载区内开设两层凹槽，将凹槽加工成台阶，台阶处设置可拆卸式固定件，通过台阶和固定件实现对硅片的限位，这种载板虽然能够同时允许较多的硅片进行镀膜，但是需要将可拆卸式固定件拆装才能将基片装入或者取下，会导致生产效率较低，现有技术中的另一种镀膜载板在载板的承载部处设置卡点，卡点能够将硅片与镀膜载板贴紧，且硅片从卡点的开口处插入承载部，避免了频繁拆卸卡点，但是这种镀膜载板允许单次放置的硅片数量较少，也会导致生产效率降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供镀膜载板及镀膜设备，该镀膜载板不仅能够便于放入或取出硅片，而且能够同时对多排硅片进行镀膜，能够提升硅片的镀膜效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

镀膜载板，镀膜载板包括：

载板本体，载板本体具有相对设置的第一承载面和第二承载面，第一承载面设置有多组第一承载部，第二承载面设置有多组第二承载部，且多组第一承载部与多组第二承载部沿第一方向交错设置；

任意一组第一承载部包括沿第二方向间隔布置的多个第一承载部，第一承载部用于固定硅片，第一承载部具有第一预留边，第一预留边用于将硅片放入第一承载部，或将硅片从第一承载部中取出。

作为优选，第一承载部包括第一安装部和多个第一卡点，多个第一卡点设置于第一安装部的周围，且第一卡点凸设于第一承载面。

作为优选，第一卡点包括第一连接部、第一承重部和第一卡接部，第一连接部、第一承重部和第一卡接部依次连接，第一连接部用于连接载板本体，第一承重部与第一卡接部用于固定硅片。

作为优选，第一卡接部具有第一导向面，第一承重部具有第一承重面，第一导向面、第一承重面与第一承载面形成第一固定槽，第一固定槽用于容纳硅片，且第一承重面沿轴向的宽度与硅片的厚度相同。

作为优选，第一卡接部还具有第一抵接面，第一抵接面位于第一导向面与第一承重面之间，且第一抵接面与第一承重面垂直。

作为优选，第一安装部为多边形，第一卡点设置有至少两个，在除第一预留边外的每条边至少设置一个第一卡点。

作为优选，第一卡点设置有至少三个，三个第一卡点所围成的面能够覆盖硅片至少二分之一的面积。

作为优选，第一安装部相对于第二方向倾斜设置，倾斜角度为3°-10°，且倾斜方向与硅片的运动趋势方向相同。

作为优选，镀膜载板还包括至少两个载板挂钩，至少两个载板挂钩设置于载板本体，且至少两个载板挂钩用于将载板本体悬挂至外部支撑件。