[实用新型]用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机有效
| 申请号： | 202222550530.6 | 申请日： | 2022-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN218535185U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 钟后芳;万里辉;高东升;吴琼琼;崔思远;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈冬莲 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体切割技术领域，具体公开一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机，该喷淋装置包括用于向切割线喷淋切割液的切割线喷淋组件，还包括用于向槽轮沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件，所述切割线喷淋组件与所述沟槽喷淋组件之间设有用于安装槽轮的槽轮安装空间。通过设置相互配合的切割线喷淋组件及沟槽喷淋组件，在切割作业过程中向切割线及槽轮沟槽喷淋切割液，及时清理到切割线与槽轮沟槽上的碎屑粉末，有效避免现有技术中切割线绕经沟槽后被沟槽内堆积的碎屑粉末污染或顶出于沟槽外的问题，切割线的切割能力得以有效发挥，有效提高切割效率，同时降低切割过程中跳线断线的风险，有效提高切割良率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 切割机 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
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