[实用新型]用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机

说明书

本实用新型涉及半导体切割技术领域，具体公开一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机，该喷淋装置包括用于向切割线喷淋切割液的切割线喷淋组件，还包括用于向槽轮沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件，所述切割线喷淋组件与所述沟槽喷淋组件之间设有用于安装槽轮的槽轮安装空间。通过设置相互配合的切割线喷淋组件及沟槽喷淋组件，在切割作业过程中向切割线及槽轮沟槽喷淋切割液，及时清理到切割线与槽轮沟槽上的碎屑粉末，有效避免现有技术中切割线绕经沟槽后被沟槽内堆积的碎屑粉末污染或顶出于沟槽外的问题，切割线的切割能力得以有效发挥，有效提高切割效率，同时降低切割过程中跳线断线的风险，有效提高切割良率。

技术领域

本实用新型涉及半导体切割技术领域，尤其涉及一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机。

背景技术

多线切割是一种常用的半导体材料切割方法，其是通过高速往复运动的金刚线网，携带着一定浓度的切割液，将晶棒原料切割至所需厚度衬底。在金刚线高速往复运动的过程中，金刚线与晶棒磨削会产生大量热量及碎屑粉末，此时恒温的切割液就起到将降温及排屑的作用。

目前的多线切割机通常是在槽轮上方设置喷淋管，通过喷淋管向切割线喷淋切割液，然而，这种喷淋方式仅能对切割线上残留的碎屑粉末进行一定程度的冲刷，对于槽轮沟槽内的碎屑粉末得不到有效的冲刷，随着切割作业的进行，部分磨削产生的碎屑粉末附着堆积在槽轮沟槽内而得不到及时清理，这使得在切割过程中，切割线绕经槽轮的沟槽时会携带大量粉末碎屑，包裹住金刚线，导致切割效率下降；此外，槽轮沟槽内沉积的大量碎屑粉末还会将沟槽内的切割线顶出，增加了切割中跳线断线的风险，从而影响切割良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对已有的技术现状，提供一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机，本实用新型的喷淋装置能够及时清理到切割线与槽轮沟槽上的碎屑粉末，有效提高切割效率及切割良率。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于多线切割机的喷淋装置，包括用于向切割线喷淋切割液的切割线喷淋组件，还包括用于向槽轮沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件，所述切割线喷淋组件与所述沟槽喷淋组件之间设有用于安装槽轮的槽轮安装空间。

在一些实施例中，所述切割线喷淋组件设于所述槽轮安装空间上方，所述沟槽喷淋组件设于所述槽轮安装空间下方。

在一些实施例中，所述切割线喷淋组件和/或沟槽喷淋组件包括用于输送切割液的管体及用于将管体内的切割液喷出的喷嘴，所述喷嘴设于所述管体的侧壁上。

在一些实施例中，所述管体沿所述槽轮的平行方向设置。

在一些实施例中，所述管体上设有多个喷嘴，各喷嘴沿管体的长度方向排布。

在一些实施例中，所述切割线喷淋组件或所述沟槽喷淋组件设有进液管，所述切割线喷淋组件的管体与所述沟槽喷淋组件的管体之间设有连通管。

在一些实施例中，所述切割线喷淋组件的管体连接有安装挂架。

在一些实施例中，所述进液管连接有输液泵，所述输液泵连接有供液源。

本实施例还提供一种多线切割机，包括切割线、槽轮组及上述的喷淋装置，所述槽轮组包括至少两个相互平行的槽轮，所述切割线绕经各槽轮以形成线网，各所述槽轮上设有供切割线滑行的沟槽，所述切割线喷淋组件的喷淋方向为朝向所述切割线的方向，所述沟槽喷淋组件的喷淋方向为朝向所述沟槽的方向。

在一些实施例中，各所述槽轮的侧旁对应设有一套喷淋装置，且所述切割线喷淋组件设于对应的槽轮上方，所述沟槽喷淋组件设于对应的槽轮下方。

本实用新型的有益效果在于：