[实用新型]一种垂直结构LED芯片有效
申请号: | 202222534107.7 | 申请日: | 2022-09-22 |
公开(公告)号: | CN219123256U | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 曲晓东;陈凯轩;崔恒平;蔡海防;林志伟;罗桂兰;赵斌;杨克伟;江土堆 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/36;H01L33/44;H01L33/02;H01L33/10;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361101 福建省厦门市厦门火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种垂直结构LED芯片,实现了将电流扩展层与PAD金属层集成到一起的制作方式,即形成集成金属层,用集成金属层取代电流扩展层,在制作集成金属层的过程中采用含Au金属材料,由于Au金属材料的电阻率较低,可以实现较好的电流扩展能力;另外,在PAD制作时,通过刻蚀部分所述外延叠层至绝缘层的方式,裸露出集成金属层中的部分表面,并保留边缘的外延叠层以形成独立的保护墙,该裸露部分承担PAD功能以实现与外部的电连接。通过该方式,节省了单独制作PAD金属层的工序,并同步形成了保护墙,节约了成本。同时,所形成的保护墙弥补了外延叠层刻蚀时在边角所形成的高度差,从而减少了崩边崩角的风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 结构 led 芯片 | ||
【主权项】:
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