[实用新型]坩埚组件和具有其晶体生长设备有效
| 申请号： | 202222509130.0 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN218026452U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李向阳;陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/12 | 分类号： | C30B15/12;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 顾鲜红 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚组件和具有其的晶体生长设备，坩埚组件包括石英坩埚和氮化硅坩埚，氮化硅坩埚至少设于石英坩埚的内底壁，且氮化硅坩埚和石英坩埚通过定位结构定位配合，定位结构包括定位孔和配合于定位孔的定位凸起。根据本实用新型的坩埚组件，可以降低晶体中的含氧量,便于晶体含氧量的有效控制,同时可以根据晶体含氧量的差异化需求相应适应性调整；同时氮化硅坩埚与液态硅为惰性反应，便于将剩余硅料与坩埚组件分离，降低剩余硅料循环利用的难度，且降低了剩余硅料的污染程度和损耗程度，节约生产成本；而且通过氮化硅坩埚和石英坩埚之间的定位结构，便于保证氮化硅坩埚和石英坩埚配合可靠，且结构简单、加工方便。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 组件 具有 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
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