[实用新型]一种顶升结构及物料加工设备有效
| 申请号: | 202222390556.9 | 申请日: | 2022-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN218372516U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
| 发明(设计)人: | 左国军;芦伟 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/50;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 林雪 |
| 地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种顶升结构及物料加工设备,其中顶升结构包括:可升降的顶升组件,顶升组件包括顶升台和多根竖直设置在顶升台上的顶升柱,顶升柱用于顶升装载物料的载板;加热器,用于加热载板,位于顶升台的上方,加热器上设有多个通孔,顶升柱的顶端穿过加热器上的通孔,加热器与位于顶升柱上的载板之间具有空隙。本实用新型提出的顶升结构通过顶升柱上移直接接触载板、顶升载板,加热器不直接与载板接触而是和载板之间留有一定的间隙,从而避免形变的加热器直接与载板接触时使载板受热不均,提升了载板受热的均匀性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 结构 物料 加工 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





