[实用新型]离子溅射仪及其样品台结构有效
| 申请号： | 202222355909.1 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN217973379U | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 常正凯;吉祥;张浩 | 申请（专利权）人： | 速普仪器（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄鸿华 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市太仓市科教*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及离子溅射仪及其样品台结构，样品台结构的旋转系统设有承载样品的样品台且使样品台相对于离子溅射仪的射频离子源可转动设置；偏转系统使旋转系统上的样品台相对于离子溅射仪的射频离子源可偏转设置。一方面突破了传统样品台固定不动的思维限制，实现了喷镀导电层更加细腻的效果，避免了喷镀导电层时产生大团聚颗粒，从而有利于后续流程获得更加清晰成像图片；另一方面由于喷镀均匀，因此可安装通用型贵金属靶材而无需采用不常见、价格昂贵且供货周期长的贵金属合金靶材；再一方面有利于实现表面高低起伏不平样品一次性表面沉积均匀薄膜，从而达成异性件样品的一次性表面覆膜；又一方面采用了模块化设计方式，因此具有操作灵活的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 溅射 及其 样品 结构 | ||
【主权项】：
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