[实用新型]一种MEMS传感器测试探针有效
| 申请号： | 202222230853.7 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN218350348U | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 艾育林;陈建华 | 申请（专利权）人： | 江西万年芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人： | 马莉 |
| 地址： | 335599 江西省上饶市万年县高*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及MEMS传感器技术领域，尤其为一种MEMS传感器测试探针，包括套管，所述套管的底部连接有针头，所述套管的顶部连接有连接杆，所述套管的内侧面中心处的环形面上固定安装有挡片，所述套管的内侧位于挡片顶部的腔体内以及挡片底部的腔体内均设有弹簧，所述针头的顶部固定安装有限位板，所述限位板的顶部固定连接有定位杆，本实用新型中，通过针头、连接杆、挡片、弹簧以及定位杆，使得该测试探针能够有效防止针头与MEMS传感器上的芯片接触压力过大而造成芯片刮花或损坏，同时由于该测试探针长度可进行调节，从而可以适配不同的半导体芯片进行生产测试提升该探针的使用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 测试 探针 | ||
【主权项】：
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