[实用新型]一种MEMS传感器测试探针

说明书

本实用新型涉及MEMS传感器技术领域，尤其为一种MEMS传感器测试探针，包括套管，所述套管的底部连接有针头，所述套管的顶部连接有连接杆，所述套管的内侧面中心处的环形面上固定安装有挡片，所述套管的内侧位于挡片顶部的腔体内以及挡片底部的腔体内均设有弹簧，所述针头的顶部固定安装有限位板，所述限位板的顶部固定连接有定位杆，本实用新型中，通过针头、连接杆、挡片、弹簧以及定位杆，使得该测试探针能够有效防止针头与MEMS传感器上的芯片接触压力过大而造成芯片刮花或损坏，同时由于该测试探针长度可进行调节，从而可以适配不同的半导体芯片进行生产测试提升该探针的使用范围。

技术领域

本实用新型涉及MEMS传感器技术领域，具体为一种MEMS传感器测试探针。

背景技术

MEMS传感器与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能，在MEMS传感器出厂时需要通过测试探针进行检测，但是传统的测试探针长度是固定的，当针头与MEMS传感器上芯片挤触压力过大时容易造成芯片的刮花或损坏。

因此设计一种MEMS传感器测试探针以改变上述技术缺陷，提高整体实用性，显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种MEMS传感器测试探针，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种MEMS传感器测试探针，包括套管，所述套管的底部连接有针头，所述套管的顶部连接有连接杆，所述套管的内侧面中心处的环形面上固定安装有挡片，所述套管的内侧位于挡片顶部的腔体内以及挡片底部的腔体内均设有弹簧，所述针头的顶部固定安装有限位板，所述限位板的顶部固定连接有定位杆。

作为本实用新型优选的方案，所述套管的表面采用磷铜材质电镀厚层。

作为本实用新型优选的方案，所述针头的表面采用铍铜材质电镀厚层。

作为本实用新型优选的方案，所述弹簧共设有两组，且两组所述弹簧分别与挡片的顶部以及底部进行连接。

作为本实用新型优选的方案，所述连接杆与针头上均设有限位板和定位杆，且所述限位板滑动安装于套管的内侧面上，所述定位杆的一端插入弹簧的内侧。

作为本实用新型优选的方案，所述挡片采用金属材质制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的针头、连接杆、挡片、弹簧以及定位杆，使得该测试探针能够有效防止针头与MEMS传感器上的芯片接触压力过大而造成芯片刮花或损坏，同时由于该测试探针长度可进行调节，从而可以适配不同的半导体芯片进行生产测试提升该探针的使用范围。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型套管内部剖面分层图；

图3为本实用新型市针头结构示意图。

图中：1、套管；2、针头；3、连接杆；4、挡片；5、弹簧；6、限位板；7、定位杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。