[实用新型]一种用于半导体洗净项目用的工装夹具

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，包括清洗机和转动板，清洗机上端开设有清洗槽，清洗槽底部转动连接有转动板，转动板上滑动连接有一对夹板，转动板上且位于夹板相远离一侧固定连接有挤压气缸，挤压气缸输出端与夹板相远离一侧转动连接，本实用新型的有益效果是：在进行半导体硅片清洗时，可以利用挤压气缸对夹板进行推动，从而对半导体硅片进行夹持，并且在伸缩板向下运动解除对夹板转动反向的阻挡后，可以利用夹板的转动，实现对半导体硅片双面清洗，且无需对半导体硅片进行重新装夹，避免在多次装夹过程中，由于半导体硅片体积较小，提高了出现夹持损伤的概率。