[实用新型]一种用于半导体洗净项目用的工装夹具

权利要求书

1.一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，包括清洗机(1)和转动板(2)，所述清洗机(1)上端开设有清洗槽(5)，所述清洗槽(5)底部转动连接有转动板(2)，所述转动板(2)上滑动连接有一对夹板(3)，所述转动板(2)上且位于夹板(3)相远离一侧固定连接有挤压气缸(4)，其特征在于，所述挤压气缸(4)输出端与夹板(3)相远离一侧转动连接，所述转动板(2)中间位置开设有伸缩槽(6)，所述伸缩槽(6)内滑动连接有伸缩板(7)，所述伸缩板(7)上端与夹板(3)下端相抵，所述伸缩槽(6)内且位于伸缩板(7)设置有升降机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，其特征在于：所述升降机构(8)包括螺纹杆(81)和限位杆(84)，所述螺纹杆(81)固定连接在伸缩板(7)下端中间，所述伸缩槽(6)下端中心位置转动连接有螺纹套(82)，所述螺纹杆(81)下端螺纹连接在螺纹套(82)内。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，其特征在于：所述伸缩槽(6)下端固定连接有伺服电机(83)，所述伺服电机(83)输出端固定连接在螺纹套(82)下端。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，其特征在于：所述限位杆(84)固定连接在伸缩板(7)下端外围且均匀分布，所述伸缩槽(6)下端侧壁且与限位杆(84)相对应位置开设有限位槽(85)，所述限位杆(84)下端滑动连接在限位槽(85)内。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，其特征在于：所述伸缩板(7)外围固定连接有密封垫(9)，所述夹板(3)均为V形结构，所述夹板(3)内侧壁中间位置均固定连接有防滑垫(10)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体洗净项目用的工装夹具，其特征在于：所述伸缩板(7)上端中心位置固定连接有顶块(11)，所述顶块(11)上端与夹板(3)间位置对齐。