[实用新型]一种硅片抛光用取片装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片抛光用取片装置，包括取片机构、硅片支撑机构以及机架组件，硅片支撑机构包括支撑平台、升降装置，升降装置设有上升高度和下降高度限位装置，用于使支撑平台置于设定高度支撑硅片；取片机构包括取片手臂、驱动装置和定位块；取片手臂中心设有供支撑平台穿过的通孔；定位块还设有位置调节装置；驱动装置与所述取片手臂连接，用于驱动取片手臂在硅片料盒和定位块侧之间来回移动。本申请通过对取片装置作进一步的改进，使取片定位准确，硅片支撑良好，同时不会出现硅片表面刮伤的品质问题，对于后续抛光生产的稳定性和硅片的品质有具有很大的提升效果。