[实用新型]一种硅片抛光用取片装置

权利要求书

1.一种硅片抛光用取片装置，包括取片机构、硅片支撑机构以及用于支撑所述取片机构和所述硅片支撑机构的机架组件，其特征在于，

所述硅片支撑机构包括支撑平台、升降装置，所述支撑平台与所述升降装置连接，在所述升降装置作用下可上下移动；所述升降装置设有上升高度和下降高度限位装置，用于使支撑平台置于设定高度支撑硅片；

所述取片机构包括取片手臂、驱动装置和定位块；所述取片手臂中心设有供所述支撑平台穿过的通孔；所述定位块与硅片形状相适应，设于所述取片手臂的一侧，用于从该侧面定位硅片，所述定位块还设有位置调节装置；所述驱动装置与所述取片手臂连接，用于驱动所述取片手臂在硅片料盒和所述定位块侧之间来回移动；

所述取片手臂用于，在所述驱动装置作用下移动至硅片料盒处取料，并于取料完成后在所述驱动装置作用下缩回至所述定位块侧；所述定位块用于在所述取片手臂取料缩回后，在所述位置调节装置调节下置于合适位置对所述硅片定位；所述支撑平台用于在所述硅片定位后，在升降装置作用下上升并穿过所述取片手臂的通孔支撑所述硅片。

2.如权利要求1所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述支撑平台的上表面设有支撑垫。

3.如权利要求1所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述取片手臂的远离所述定位块的一侧设有限位挡边。

4.如权利要求1所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述取片手臂材质为电木。

5.如权利要求1所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述定位块以及所述取片手臂的与硅片接触的各个边均设有防刮伤圆角。

6.如权利要求1所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述机架组件包括底座、支撑板和固定块；

所述支撑板的一端固定于所述底座上，另一端连接有固定板；所述硅片支撑机构位于所述支撑板上；

所述固定块也固定于所述底座上，所述固定块与所述固定板之间设有主导轨，所述驱动装置设于所述主导轨上并可沿所述主导轨来回移动，所述驱动装置连接有连杆，所述连杆通过上固定块与所述取片手臂连接，所述上固定块与所述定位块位于所述取片手臂的同一侧；

所述固定板还连接有下固定块，所述定位块位于所述下固定块的上表面，所述定位块的中心设有凹槽，用于供所述上固定块穿过。

7.如权利要求6所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述升降装置包括气缸座、气缸杆，所述气缸座位于所述支撑板上，所述气缸杆的顶部与所述支撑平台连接，用于使所述支撑平台升降移动；所述气缸杆的底部穿过所述支撑板连接有连接块；

所述上升高度和下降高度限位装置分别为设于所述连接块的左右两端的上定位螺丝和下定位螺丝，所述上定位螺丝和下定位螺丝均设有上端螺帽和下端螺帽，所述上定位螺丝的上端螺帽和下端螺帽分别位于所述连接块的上、下两侧；所述下定位螺丝还穿过所述支撑板，且上端螺帽位于所述支撑板的上侧，下端螺帽位于所述连接块的下侧；所述下定位螺丝在所述气缸杆上下移动时可穿过所述支撑板上下移动。

8.如权利要求6所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述固定块和固定板之间还设有与所述主导轨平行的辅助导轨；

所述驱动装置还连接有连接杆，所述连接杆的另一端位于所述辅助导轨上；所述连接杆在所述驱动装置沿所述主导轨移动时可沿所述辅助导轨同步移动。

9.如权利要求6所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述上固定块的靠近所述取片手臂的一端设有用于感应所述硅片位置的圆形感应器，所述取片手臂靠近所述上固定块的一端设有半圆形缺口。

10.如权利要求6所述的硅片抛光用取片装置，其特征在于，

所述定位块的位置调节装置为设于所述固定板或所述下固定块上的长条形螺丝孔，所述固定板和所述下固定块之间通过穿过所述长条形螺丝孔的固定螺丝固定连接，通过调节所述固定螺丝于所述长条形螺丝孔的位置，可以调节所述下固定块的位置，进而调节所述定位块的位置。