[实用新型]一种视觉数片装置有效
| 申请号： | 202222139738.9 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN217821650U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭;付正超;王千熙 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G06M1/272 | 分类号： | G06M1/272;G06V10/141 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 谭博 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于自动清洗设备技术领域，具体涉及一种视觉数片装置，本视觉数片装置包括：料台、图像采集机构和移载补光机构；移载补光机构移动至第一支撑工位的下方对晶圆盒进行补光，图像采集机构移动至各拍摄工位分别采集第一支撑工位上晶圆盒的图像信息；移载补光机构将第一支撑工位上晶圆盒顶起，以带动该晶圆盒移至下一支撑工位；本实用新型通过图像采集机构在不同拍摄工位采集晶圆盒的图像信息，克服靠近晶圆盒侧壁的晶圆在成像时会让机器产生偏差、数片时将晶圆盒侧壁当成晶圆导致数片数量偏差的问题，能够保证成像不存在盲区，并且通过移载补光机构在有限的空间中完成晶圆盒的移载和满足相机的补光，提高图像的清晰度，以提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 视觉 装置 | ||
【主权项】：
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