[实用新型]一种视觉数片装置

说明书

本实用新型属于自动清洗设备技术领域，具体涉及一种视觉数片装置，本视觉数片装置包括：料台、图像采集机构和移载补光机构；移载补光机构移动至第一支撑工位的下方对晶圆盒进行补光，图像采集机构移动至各拍摄工位分别采集第一支撑工位上晶圆盒的图像信息；移载补光机构将第一支撑工位上晶圆盒顶起，以带动该晶圆盒移至下一支撑工位；本实用新型通过图像采集机构在不同拍摄工位采集晶圆盒的图像信息，克服靠近晶圆盒侧壁的晶圆在成像时会让机器产生偏差、数片时将晶圆盒侧壁当成晶圆导致数片数量偏差的问题，能够保证成像不存在盲区，并且通过移载补光机构在有限的空间中完成晶圆盒的移载和满足相机的补光，提高图像的清晰度，以提高检测精度。

技术领域

本实用新型属于自动清洗设备技术领域，具体涉及一种视觉数片装置。

背景技术

目前，在半导体等相关行业自动清洗机也有类似的数片装置，通常包括称重、移动激光、视觉加侧面光源等方式。

然而传统的数片装置功能单一、精度不高且兼容性不强，在清洗过程涉及到数片、输送，传统的数片装置无法实现，并且采集晶圆盒的图像比较模糊，数片的精度不高。

因此，亟需开发一种新的视觉数片装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种视觉数片装置，以解决如何通过补光提高数片精度的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种视觉数片装置，其包括：料台、图像采集机构和移载补光机构；其中所述图像采集机构活动设置在料台的上方，所述移载补光机构活动设置在料台的下方；所述料台的X轴方向依次设置至少两个支撑工位，且第一支撑工位沿所述料台的Y轴方向设置至少两个拍摄工位；所述移载补光机构适于移动至第一支撑工位的下方对晶圆盒进行补光，以使所述图像采集机构移动至各拍摄工位分别采集第一支撑工位上晶圆盒的图像信息；以及所述移载补光机构适于将第一支撑工位上晶圆盒顶起，以带动该晶圆盒移至下一支撑工位。

进一步，所述图像采集机构包括：第一安装板、第一气缸、第一移动板和至少一个图像采集器；所述第一安装板水平设置在料台的上方，所述第一安装板上开设有第一滑动槽，且所述第一滑动槽与料台的Y轴方向平行且对应各拍摄工位设置；所述第一气缸、第一移动板位于第一安装板上，所述第一气缸的活动部连接第一移动板；所述第一移动板活动设置在第一滑动槽的上方，各所述图像采集器固定在第一移动板的底部且穿过第一滑动槽；所述第一气缸适于驱动第一移动板移动，以带动各所述图像采集器移动至各拍摄工位，即各所述图像采集器适于在各拍摄工位分别采集第一支撑工位上晶圆盒的图像信息。

进一步，各所述支撑工位沿料台的Y轴方向在料台上设置至少两个支撑架，以用于分别放置相应晶圆盒。

进一步，所述料台的X轴方向依次设置第一支撑工位、第二支撑工位，且所述第一支撑工位沿料台的Y轴方向设置第一拍摄工位、第二拍摄工位；所述第一移动板的底部设置有两个图像采集器；所述移载补光机构适于在第一支撑工位的下方对晶圆盒进行补光，以使两个所述图像采集器依次在第一拍摄工位、第二拍摄工位分别采集晶圆盒的图像信息。

进一步，所述图像采集器采用相机。

进一步，所述移载补光机构包括：滑轨、滑台气缸、滑板、顶升气缸、光源支架和光源板；所述滑轨位于料台的下方，所述滑轨与料台平行设置；所述滑台气缸与滑轨处于同一基准面，所述滑台气缸与滑轨平行设置；所述滑板活动安装在滑轨上，所述滑台气缸的活动部连接滑板的底部；所述顶升气缸竖直设置在滑板上，且所述顶升气缸的活动部连接光源支架；所述光源支架镂空设置，以用于安装所述光源板；所述滑台气缸适于带动滑板在滑轨上移动，以带动所述光源板移动至第一支撑工位的下方，即所述光源板适于对晶圆盒补光；所述顶升气缸适于推动光源支架朝向第一支撑工位的晶圆盒运动，以将晶圆盒顶起，在所述滑台气缸带动下移至下一支撑工位。

进一步，所述光源支架顶部设置有槽口，与相应晶圆盒底部卡接。