[实用新型]送料机构、加料机及单晶生产系统有效
| 申请号: | 202222117517.1 | 申请日: | 2022-08-11 |
| 公开(公告)号: | CN217948327U | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
| 发明(设计)人: | 汪火成;张国久;石鹏飞 | 申请(专利权)人: | 三一集团有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 耿向宇 |
| 地址: | 410100 湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及单晶硅制备技术领域,提供一种送料机构、加料机及单晶生产系统。送料机构用于设置在加料机内部并向单晶炉添加硅料,送料机构包括:料仓,用于容纳硅料并设有出料口称重装置,支撑料仓并用于检测料仓的重量值;启闭装置,设置于出料口,用于开启和关闭出料口;输送机构,设置于出料口下方,用于承接硅料并向单晶炉输送;控制模块;其中,称重装置和启闭装置均与控制模块连接。如此设置,通过称重装置检测料仓的重量值,能够基于料仓重量值变化量准确地控制料仓排出的硅料量,从而提高送料机构向单晶炉内添加硅料量的准确度,避免加入的硅料量过多或过少,进而提高单晶硅棒的生成质量。 | ||
| 搜索关键词: | 机构 加料 生产 系统 | ||
【主权项】:
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