[实用新型]送料机构、加料机及单晶生产系统

权利要求书

1.一种送料机构，其特征在于，用于设置在加料机内部并向单晶炉添加硅料，所述送料机构包括：

料仓(1)，用于容纳硅料并设有出料口

称重装置(2)，支撑所述料仓(1)并用于检测所述料仓(1)的重量值；

启闭装置(3)，设置于所述出料口，用于开启和关闭所述出料口；

输送机构，设置于所述出料口下方，用于承接硅料并向所述单晶炉输送；

控制模块(13)；

其中，所述称重装置(2)和所述启闭装置(3)均与所述控制模块连接。

2.根据权利要求1所述的送料机构，其特征在于，还包括支座(4)，所述称重装置(2)设置于所述支座(4)上。

3.根据权利要求1或2所述的送料机构，其特征在于，还包括安装座(5)，所述料仓(1)与所述安装座(5)连接，所述称重装置(2)通过所述安装座(5)支撑所述料仓(1)。

4.根据权利要求1所述的送料机构，其特征在于，还包括驱动机构(6)；

所述输送机构沿所述输送机构的输送方向可移动设置，并能够从所述加料机伸出和缩回；

所述驱动机构(6)与所述输送机构连接，用于驱动所述输送机构移动。

5.根据权利要求4所述的送料机构，其特征在于，还包括底座(7)和导向结构(8)，所述导向结构(8)设置于所述底座(7)上，所述输送机构与所述导向结构(8)滑动连接，所述驱动机构(6)设置于所述底座(7)上。

6.根据权利要求4所述的送料机构，其特征在于，所述驱动机构(6)为丝杠螺母驱动机构、齿轮齿条驱动机构、同步带驱动机构或者驱动缸。

7.根据权利要求1所述的送料机构，其特征在于，所述称重装置(2)为重量传感器，和/或，所述启闭装置(3)为插板阀。

8.根据权利要求4-7任一项所述的送料机构，其特征在于，所述输送机构包括振动器(9)和导料管(10)，所述导料管(10)上设有用于与所述出料口相对的进料口，所述振动器(9)与所述导料管(10)连接，用于驱动所述导料管(10)振动送料。

9.一种加料机，其特征在于，包括机壳(11)和如权利要求1-8任一项所述的送料机构，所述送料机构设置于所述机壳(11)内，所述机壳(11)设有供所述输送机构伸出的送料口(12)。

10.一种单晶生产系统，其特征在于，包括用于生长单晶的单晶炉，所述单晶生产系统还包括如权利要求1-8任一项所述的送料机构或者如权利要求9所述的加料机，所述送料机构或者所述加料机用于向所述单晶炉加料。