[实用新型]一种涂布装置

摘要

本实用新型提供一种涂布装置，包括：涂布平台，涂布平台适于承载基片以在基片表面形成液膜；盖体，盖体具有远离涂布平台的第一状态、以及与涂布平台接触的第二状态，盖体与涂布平台接触以形成密闭空间，涂布有液膜的基片适于位于密闭空间内；加热部，加热部位于盖体内，加热部适于对密闭空间进行加热。上述涂布装置不需要对基片进行转移，在涂布液膜的位置就能够进行对液膜的后处理以得到固体薄膜，不仅避免了由于基片转移导致的基片破碎，还节约了制备时间，提高了生产效率。此外，上述涂布装置结构简单，具有较强的实用性。