[实用新型]一种静电消除装置有效
| 申请号： | 202222074384.4 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN218041881U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李媛媛 | 申请（专利权）人： | 广东越海集成技术有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨雪 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种静电消除装置，包括腔体和X射线静电消除器，腔体的一侧设置有开口，腔体的内底壁沿开口的方向滑动连接有载物托盘，载物托盘的一侧设置有闭合开口的外隔板，X射线静电消除器设置于腔体的内顶壁上，X射线静电消除器朝向于正下方照射。该静电消除装置通过设置密闭的静电消除空间，利用X射线照射中性的空气，使空气中充满正负离子并充斥于密闭空间内实现产品表面的静电消除，从而减少了产品表面灰尘的附着，提高了静电消除效率与产品的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 消除 装置 | ||
【主权项】：
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