[实用新型]一种静电消除装置

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种静电消除装置，包括腔体和X射线静电消除器，腔体的一侧设置有开口，腔体的内底壁沿开口的方向滑动连接有载物托盘，载物托盘的一侧设置有闭合开口的外隔板，X射线静电消除器设置于腔体的内顶壁上，X射线静电消除器朝向于正下方照射。该静电消除装置通过设置密闭的静电消除空间，利用X射线照射中性的空气，使空气中充满正负离子并充斥于密闭空间内实现产品表面的静电消除，从而减少了产品表面灰尘的附着，提高了静电消除效率与产品的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种静电消除装置。

背景技术

在半导体封测中静电无处不在，其中最容易产生的就是接触式静电和感应式静电，对于精密元器件而言静电电压超过限制1000v时极为容易对其造成不可逆的损伤，而静电所具有的隐蔽性、潜在性、随机性和复杂性等也大大地增加了元器件加工制造的难度，故此需对产品进行静电消除作业。

现有的产品静电消除方式主要采用离子风机/棒通过高压电极针产生尖端放电，再利用一定速度的气流将正负离子团吹至产品表面以实现电荷中和而消除静电。但由于正负离子团是交替、不均匀的作用于产品表面上作用时间不仅较长(5-15min)，其效果也无法完全达到0V。其次离子风机/棒除了会将电极针产生的灰尘链利用气流吹送至产品表面外，还会将一些高精度轻薄产品吹落，严重影响产品的可靠性。

因此，亟待设计一种新的静电消除装置来改善上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种静电消除装置，通过设置密闭的静电消除空间，利用X射线照射中性的空气，使空气中充满正负离子并充斥于密闭空间内实现产品表面的静电消除，从而减少了产品表面灰尘的附着，提高了静电消除效率与产品的可靠性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种静电消除装置，包括：

腔体，所述腔体的一侧设置有开口，所述腔体的内底壁沿所述开口的方向滑动连接有载物托盘，所述载物托盘的一侧设置有闭合所述开口的外隔板；及

X射线静电消除器，设置于所述腔体的内顶壁上，所述X射线静电消除器朝向于正下方照射。

作为优选，所述载物托盘包括：

滑板，所述滑板上设置有与所述腔体的底壁相连接的线性滑轨，所述滑板与所述外隔板垂直固定；

放置框，所述放置框的顶端呈开口设置，所述放置框放置于所述滑板上，待消除静电的产品放置于所述放置框内；及

限位件，设置于所述滑板上用于限定所述放置框于所述滑板上。

作为优选，所述限位件包括设置于所述滑板底部的液压杆，所述液压杆的伸缩端的伸缩方向与所述滑板的滑动方向相平行，所述液压杆的伸缩端端部设置有限位条，所述限位条呈L形，所述滑板上开设有可供所述限位条的另一端伸出的滑槽，所述限位条抵接于所述放置框的侧壁上。

作为优选，所述腔体的内顶壁设置有与所述X射线静电消除器相连接的驱动件，所述驱动件用于带动所述X射线静电消除器移动至所述放置框的中心处。

作为优选，所述外隔板由透明材质制得。

作为优选，所述外隔板远离所述滑板的一侧设置有手柄。

作为优选，所述开口的外沿处开设有限位槽，所述外隔板的周侧设置有嵌设于所述限位槽内的限位板。

作为优选，所述腔体的内侧壁开设有可供所述滑板远离所述外隔板的一端插入的凹槽。

作为优选，所述腔体的侧壁采用抗辐射橡胶板材制得。