[实用新型]一种靶材存储装置有效
| 申请号： | 202222033812.9 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN218807433U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;陈丽娜;王学泽 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/04 | 分类号： | B65D25/04;B65D65/40;B65D81/05 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材存储装置，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深度方向与所需储存靶材的宽度方向平行。本实用新型通过将凹槽分隔形成分隔腔，并使分隔腔的深度方向与所需存储靶材的宽度方向平行，便于操作人员获取靶材侧壁的信息；而且，还能够有效提高空间利用率，提高靶材的存储数量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存储 装置 | ||
【主权项】：
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