[实用新型]一种靶材存储装置有效
| 申请号： | 202222033812.9 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN218807433U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;陈丽娜;王学泽 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/04 | 分类号： | B65D25/04;B65D65/40;B65D81/05 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 存储 装置 | ||
1.一种靶材存储装置，其特征在于，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；
所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；
所述缓冲件为珍珠棉缓冲件，相邻两个凹槽之间的珍珠棉层厚度为8-12mm；
所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深度方向与所需储存靶材的宽度方向平行。
2.根据权利要求1所述的靶材存储装置，其特征在于，所述凹槽的宽度为14-16mm，深度为66-68mm。
3.根据权利要求1所述的靶材存储装置，其特征在于，所述凹槽内设置1层分隔件，所述1层分隔件将凹槽分隔为2个分隔腔；
所述分隔腔的长度为1005-1010mm。
4.根据权利要求1所述的靶材存储装置，其特征在于，所述分隔件包括至少1层珍珠棉分隔层。
5.根据权利要求4所述的靶材存储装置，其特征在于，所述分隔件包括至少2层珍珠棉分隔层，相邻两层珍珠棉分隔层之间均匀设置有缓冲部。
6.根据权利要求5所述的靶材存储装置，其特征在于，所述珍珠棉分隔层的厚度为1-2mm。
7.根据权利要求5所述的靶材存储装置，其特征在于，所述缓冲部包括珍珠棉缓冲块或弹簧。
8.根据权利要求5-7任一项所述的靶材存储装置，其特征在于，相邻两层珍珠棉分隔层的内壁分别独立地设置有支撑层，支撑层之间均匀设置有缓冲部。
9.根据权利要求1所述的靶材存储装置，其特征在于，所述靶材存储装置还包括保护盖；
所述缓冲件设置于保护盖与壳体形成的存储腔中。
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