[实用新型]一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器有效
| 申请号： | 202222028731.X | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN217953712U | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 贾武林;孙勇;樊乾国;梁钊;迪晨阳 | 申请（专利权）人： | 陕西美兰德炭素有限责任公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/14;G01K1/08 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 王乾 |
| 地址： | 710699 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，涉及沉积炉热电偶测温技术领域。其包括热电偶主体、温度记录仪以及固接于沉积炉外壁上的固定法兰，还包括补偿导线、连接法兰以及用于密封所述连接法兰与所述补偿导线空隙的耐高温胶粘剂；所述补偿导线一端与所述热电偶主体固接，另一端与所述温度记录仪固接；所述连接法兰上开设有用于所述补偿导线穿设的通孔，且所述连接法兰与所述固定法兰同轴固接；所述耐高温胶粘剂设置于所述通孔中，且所述耐高温胶粘剂与所述连接法兰的内壁固接，所述耐高温胶粘剂充满所述通孔。本申请具有提高沉积炉内腔的气密性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 沉积 热电偶 穿馈器 | ||
【主权项】：
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