[实用新型]一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器

权利要求书

1.一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，包括热电偶主体(1)、温度记录仪(2)以及固接于沉积炉外壁上的固定法兰(5)，其特征在于：还包括补偿导线(3)、连接法兰(4)以及用于密封所述连接法兰(4)与所述补偿导线(3)空隙的耐高温胶粘剂；

所述补偿导线(3)一端与所述热电偶主体(1)固接，另一端与所述温度记录仪(2)固接；

所述连接法兰(4)上开设有用于所述补偿导线(3)穿设的通孔(41)，且所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)同轴固接；

所述耐高温胶粘剂设置于所述通孔(41)中，且所述耐高温胶粘剂与所述连接法兰(4)的内壁固接，所述耐高温胶粘剂充满所述通孔(41)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)之间设置有用于封堵所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)之间空隙的密封垫片(6)，所述补偿导线(3)贯穿所述密封垫片(6)设置，且所述补偿导线(3)与所述密封垫片(6)滑移连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述补偿导线(3)设置有多组，多组所述补偿导线(3)均穿设于所述通孔(41)中，且每一组所述补偿导线(3)的一端均与一个所述热电偶主体(1)固接，另一端与所述温度记录仪(2)固接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述连接法兰(4)远离所述固定法兰(5)一端开设有沉孔(42)，所述沉孔(42)与所述通孔(41)同轴设置，且所述沉孔(42)直径大于所述通孔(41)直径，所述沉孔(42)与所述通孔(41)连通；

所述沉孔(42)中同轴设置有第一绝缘片(7)，所述第一绝缘片(7)外周壁与所述沉孔(42)的孔壁固接，且所述第一绝缘片(7)靠近所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)的连接端设置，所述第一绝缘片(7)上开设有用于所述补偿导线(3)穿设的第一穿设孔(71)。

5.根据权利要求4所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述沉孔(42)中同轴设置有第二绝缘片(8)，所述第二绝缘片(8)外周壁与所述沉孔(42)的孔壁固接，且所述第二绝缘片(8)远离所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)的连接端设置，所述第二绝缘片(8)上开设有用于所述补偿导线(3)穿设的第二穿设孔(81)，所述耐高温胶粘剂位于所述第一绝缘片(7)与所述第二绝缘片(8)之间，相邻两根所述补偿导线(3)之间互不接触。

6.根据权利要求5所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：位于所述第一绝缘片(7)与所述第二绝缘片(8)之间的所述补偿导线(3)去除绝缘层。

7.根据权利要求5所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：同一根所述补偿导线(3)贯穿的所述第一穿设孔(71)与所述第二穿设孔(81)同轴设置。

8.根据权利要求4所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：每一根所述补偿导线(3)滑移连接有用于封堵所述第一穿设孔(71)的封堵块(9)，所述封堵块(9)上开设有用于所述补偿导线(3)穿设的第三穿设孔(93)。