[实用新型]一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统有效
| 申请号： | 202221997784.6 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN218767409U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 代俊;何涛;廉政;谢晋;华泽;张崇飞;熊壮;赵瑞 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B26/08;F42C15/21 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，属于引信安全系统领域。主要由硅基MOEMS光开关装置，磁阻传感器，控制电路等组成。MOEMS光开关装置由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、硅基后坐保险装置、电热拔销器、电热执行器组成。系统的开关通和断通过控制输入光纤、输出光纤和可动式微镜组成的侧壁反射光纤光路通和断实现，系统设计两道保险，第一道保险激励来自后坐过载环境，第二道保险激励来自地磁环境。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电安全系统的集成度并实现尺寸微小型化，解决引信系统的电磁干扰，提高电磁兼容性。具有以下优点：(1)结构尺寸微小；(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 moems 开关 装置 微光 机电 系统 | ||
【主权项】：
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