[实用新型]一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统

权利要求书

1.一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，包括控制电路，磁阻传感器和硅基MOEMS光开关装置，其特征在于：后坐保险机构(6)作为系统第一道保险，利用后坐过载激励完成解保动作，同时电热拔销器(4)作为微光机电系统的第二道保险，利用磁阻传感器监测地磁场强度，当地磁场强度发生变化后，电热拔销器(4)完成解保动作，光纤光路打开，完成信号的传输。

2.如权利要求1中所述的一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，其特征在于：后坐保险机构包括配重块(2-1)，后坐弹簧(2-2)卡扣(2-3)，当硅基后坐保险机构(6)获得惯性后坐过载激励时，配重块(2-1)带动卡扣运动到位与另一卡扣互锁，完成解保动作，配重块(2-1)用于保持硅基后坐保险机构(6)在勤务处理时的整体结构的平衡，确保硅基后坐保险机构(6)在解除保险过程的可靠性，后坐弹簧(2-2)用于防止配重块(2-1)在勤务处理时发生误运动。

3.如权利要求1中所述的一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，其特征在于：采用磁阻传感器和电热拔销器(4)相结合的方式解除系统的第二道保险，弹丸发射的过程中，磁阻传感器检测到地磁场强度值的变化，向控制电路发出解保指令，控制电路延时供电，电热拔销器(4)受热变形，解除对系统的第二道保险，完成远距离解除保险。

4.如权利要求1中所述的一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，其特征在于：硅基后坐保险机构(6)和电热拔销器(4)并不直接作用于安全系统的隔爆机构，而是作用于传输光路中的可动式微镜(3)上，可动式微镜(3)上设有后坐保险槽(3-3)，电热保险槽(3-2)，电热定位槽(3-1)和电热驱动槽(3-4) ，硅基后坐保险机构(6)和电热拔销器(4)通过连接可动式微镜(3)上的对应凹槽来固定可动式微镜(3) ，确保系统在光纤光路导通和断开位置的安全性和可靠性。