[实用新型]一种工件架及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202221967867.0 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN217809647U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 陈韶华;程元;杨启忠;余海春;唐政 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈宏 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种工件架及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。工件架包括能够绕第一中心线转动的公转架、安装座和连接架组件，安装座的一端连接于公转架上，安装座呈放射状连接于公转架的外周；连接架组件转动连接于安装座上，连接架组件能够绕第二中心线转动，基板可拆卸连接于连接架组件上。本实用新型的工件架及真空镀膜设备，能够带动基板公转和自转，提高了工件架的灵活性，以满足不同生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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