[实用新型]一种工件架及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种工件架，其特征在于，包括：

公转架(1)，能够绕第一中心线转动；

安装座(2)，其一端连接于所述公转架(1)上，所述安装座(2)呈放射状连接于所述公转架(1)的外周；

连接架组件(3)，所述连接架组件(3)转动连接于所述安装座(2)上，所述连接架组件(3)能够绕第二中心线转动，基板(100)可拆卸连接于所述连接架组件(3)。

2.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述连接架组件(3)连接于所述安装座(2)的端部。

3.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述连接架组件(3)包括连接轴(31)和连接于所述连接轴(31)的框架(32)，所述基板(100)可拆卸连接于所述框架(32)，所述连接轴(31)转动连接于所述安装座(2)。

4.根据权利要求3所述的工件架，其特征在于，所述连接轴(31)通过轴承组(4)连接于所述安装座(2)。

5.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述基板(100)能够挂接或卡接于所述连接架组件(3)。

6.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，还包括两组第一定位组件(5)，所述第一定位组件(5)包括插销(51)和插孔(52)，所述插销(51)和所述插孔(52)一个设于所述连接架组件(3)上，另一个设于所述安装座(2)上，所述连接架组件(3)能够沿所述第二中心线移动，使所述插销(51)插接或分离于所述插孔(52)；两组所述第一定位组件(5)同时处于非定位状态，或其中一组所述第一定位组件(5)处于定位状态，另一组所述第一定位组件(5)处于非定位状态。

7.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，还包括第二定位组件(6)，所述第二定位组件(6)包括十字台(61)和十字槽(62)，所述十字台(61)和所述十字槽(62)一个设于所述连接架组件(3)上，另一个设于所述安装座(2)上，所述连接架组件(3)能够沿所述第二中心线移动，使所述十字台(61)插接或分离于所述十字槽(62)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的工件架，其特征在于，所述公转架(1)包括架体(11)、辐板(13)和转盘(12)，所述辐板(13)呈放射状设于所述架体(11)和所述转盘(12)之间，所述辐板(13)的两端分别所述架体(11)和所述转盘(12)。

9.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括腔体和权利要求1-8任一项所述的工件架，所述工件架设于所述腔体内。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述腔体内设有旋转机构(8)，所述旋转机构(8)能够驱动所述连接架组件(3)转动。