[实用新型]一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪

摘要

本实用新型涉及晶圆几何形貌检测技术领域，具体为一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在机箱内部的滑动底座，滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，机箱内滑动底座一侧设置有用于检测晶圆片的第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头，晶圆片一侧设置有与第二摄像头相对应的用于照明的光源杆，第一摄像头设置在晶圆片正前方，第三摄像头设置在晶圆片右下方。本实用新型第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境。