[实用新型]一种单晶炉稳定装置有效

专利信息
申请号: 202221911979.4 申请日: 2022-07-21
公开(公告)号: CN217997401U 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 朱明智;余飞;涂准;李正葵;杨吉祥;杨旭邦;聂佳青;陈朝仲;魏国锋 申请(专利权)人: 保山隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 赵娟
地址: 678000 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型公开了一种单晶炉稳定装置,包括:固定壳体,至少两个稳定块和至少两个伸缩件;固定壳体设置在单晶炉的主室与副室之间,固定壳体中部设置有通孔,通孔连通单晶炉的主室与副室;稳定块位于固定壳体的通孔内;固定壳体对称设置有第一安装孔,伸缩件的一端伸入第一安装孔与稳定块固定连接,伸缩件沿第一安装孔伸缩。在需要对单晶炉内的硅棒固定时,伸缩件进行伸缩活动,推动稳定块向单晶炉的内腔延伸,对称延伸的稳定块可以对单晶炉副室内的硅棒进行夹持,进而起到硅棒的稳定作用,避免硅棒在副室内晃动,触碰到副室内壁造成安全事故。
搜索关键词: 一种 单晶炉 稳定 装置
【主权项】:
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