[实用新型]一种单晶炉稳定装置有效

专利信息
申请号: 202221911979.4 申请日: 2022-07-21
公开(公告)号: CN217997401U 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 朱明智;余飞;涂准;李正葵;杨吉祥;杨旭邦;聂佳青;陈朝仲;魏国锋 申请(专利权)人: 保山隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 赵娟
地址: 678000 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 稳定 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉稳定装置,其特征在于,包括:固定壳体,至少两个稳定块和至少两个伸缩件;

所述固定壳体设置在所述单晶炉的主室与副室之间,所述固定壳体中部设置有通孔,所述通孔连通所述单晶炉的主室与副室;

所述稳定块位于所述固定壳体的通孔内;

所述固定壳体对称设置有第一安装孔,所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔与所述稳定块固定连接,所述伸缩件沿所述第一安装孔伸缩。

2.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述固定壳体的截面为圆形,所述固定壳体设置有两组对称的第一安装孔,两组所述第一安装孔的连线形成的直线互相垂直;

每个所述第一安装孔处固定设置所述伸缩件,所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔与所述稳定块固定连接。

3.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述固定壳体上对称设置有稳定块活动空间,所述稳定块活动空间用于容纳所述稳定块;

所述稳定块活动空间朝向所述固定壳体的外侧凸出,所述稳定块活动空间的形状与所述稳定块的形状相适应。

4.根据权利要求3所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述稳定块活动空间的凸起平面设置有所述第一安装孔;所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔,并与活动设置在所述稳定块活动空间的稳定块连接。

5.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述第一安装孔处设置有第一密封圈。

6.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述伸缩件包括气缸;

所述气缸内设置有活塞杆,所述活塞杆的一端伸出所述气缸并与所述稳定块固定连接,所述活塞杆的另一端在所述气缸内做伸缩活动。

7.根据权利要求6所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述气缸还包括气管,所述气管与设置在所述单晶炉外部的固定的气源装置连接。

8.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述固定壳体与所述单晶炉的主室与副室接触的位置设置有第二密封圈。

9.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述稳定块包括:第一分部、第二分部、第三分部和第四分部;

所述第一分部、第二分部、第三分部和第四分部共同形成中空的容纳部。

10.根据权利要求9所述的单晶炉稳定装置,其特征在于,所述第三分部设置有第二安装孔;

所述伸缩件的一端通过所述第二安装孔伸入所述容纳部,并通过螺栓与所述稳定块固定连接。

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