[实用新型]一种免封装的阵列波导光栅温度传感器

摘要

本实用新型提出一种免封装的阵列波导光栅温度传感器，包括阵列波导光栅芯片，阵列波导光栅芯片的两端分别设有输入光纤阵列和输出光纤阵列，阵列波导光栅芯片包括芯片主体，芯片主体上粘接有芯片盖板，芯片本体内设有依次连通的输入波导、阵列波导和输出波导。本实用新型产生的有益效果是：实现温度传感的阵列波导是通过刻蚀生长在芯片中的，所以不存在易损易断的风险，也不需要特殊的封装来保护，也不会引入其他的应力作用，同时也具备了抗电磁干扰、抗腐蚀等优点，且同一芯片有四个输出，当一通道断纤不能用时有其余三通道备用，起到了节约成本、防失效的作用。