[实用新型]一种真空镀膜设备用离子扫描装置有效
| 申请号： | 202221716694.5 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN217839121U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 吴宜生 | 申请（专利权）人： | 广东腾通镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省广州市天河区东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用离子扫描装置，包括本体，所述本体为等边直角三角形板型结构，所述本体设有与斜边垂直的拱形圆弧及切平面开口，所述本体三角边处设有用于安装线圈支架的九个螺纹孔，所述本体设有三个沉孔，所述本体设有三个通孔，所述本体设有用于安装L型固定座的三个螺纹孔。本实用新型的优点是：扫射范围大，可实现大面积无死角镀膜，设备利用率高，工作性能稳定；结构简单、轻便、灵活可调，安装拆缷方便，工作安全可靠，涂层均匀、光亮，镀膜效果好，保证了镀膜质量，同时极大地提高了生产效率和降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 离子 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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