[实用新型]一种薄膜式温压传感器及温压检测系统有效
申请号: | 202221642601.9 | 申请日: | 2022-06-29 |
公开(公告)号: | CN217504862U | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 叶宏;王杰营;汪晓阳;陈旭 | 申请(专利权)人: | 钛深科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01R31/389;G01R31/392 |
代理公司: | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人: | 向妮 |
地址: | 518112 广东省深圳市龙岗区吉华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及温压检测技术领域,特别涉及一种薄膜式温压传感器及温压检测系统。薄膜式温压传感器包括薄膜式温压感测片及数据采集装置,薄膜式温压感测片包括基材及感测材料层,基材上设置有压力感测电极及温度感测电极,压力感测电极与感测材料层相对设置以形成压力感测单元;温度感测电极包括多个温度感测单元,任意一温度感测单元对应至少一压力感测单元设置。本实用新型通过设置多个压力感测单元及分别与之对应的温度感测单元,不仅能同时获取待测物不同区域的压力及温度变化情况,同时还能够获取对应压力感测单元处的温度变化情况,进而能够对压力感测单元进行温度漂移的修正,进一步提高了压力检测单元检测结果的准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 式温压 传感器 检测 系统 | ||
【主权项】:
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