[实用新型]等离子体源机构有效
| 申请号： | 202221580543.1 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN218039089U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 乐卫平;黄晓东;林伟群;刘涛;张桂东;练瑞祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市辰为知识产权代理事务所(普通合伙) 44719 | 代理人： | 唐文波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体源机构，包括：壳体，对接所述真空腔体设备的真空槽；射频能源辐射单元，位于所述壳体内部，具有同平面设置且面向所述真空槽内的多个线圈；电源，连接所述射频能源辐射单元，提供高频电力至所述多个线圈；第一磁体，环设在所述多个线圈的外围部位，所述第一磁体配置位置与所述多个线圈并行，所述多个线圈具有沿所述多个线圈面延伸的延伸区域，所述第一磁体至少部分位于所述延伸区域内。本实用新型等离子体源机构有利于线圈外围部位磁场效应的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 机构 | ||
【主权项】：
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