[实用新型]一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉有效
申请号: | 202221527052.0 | 申请日: | 2022-06-17 |
公开(公告)号: | CN217809775U | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 杨吉祥;金林飞;杨树荣;涂准;字永超;匡志宗;吴文华 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 张子宽 |
地址: | 678000 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉,涉及单晶炉技术领域,用于在生长晶棒时夹持晶棒,减轻籽晶和细晶的载荷,规避籽晶或细晶断裂,导致晶棒掉落损坏单晶炉的风险。单晶炉拉晶辅助工装,包括防掉挂件和夹持组件,防掉挂件用于布置于单晶炉内的钨丝绳挂件上方,能够被钨丝绳挂件的上部承托顶起并沿拉晶轴线提升移动。夹持组件的一端转动连接于防掉挂件。夹持组件具有释放状态和夹持状态,在夹持组件接触单晶炉的卡盘时,夹持组件处于释放状态。在钨丝绳挂件的上部顶起防掉挂件,使夹持组件与卡盘脱离接触时,夹持组件处于夹持状态,用于夹持晶棒。单晶炉包括炉体、钨丝绳挂件和上述的工装。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉拉晶 辅助 工装 单晶炉 | ||
【主权项】:
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