[实用新型]一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉有效

专利信息
申请号: 202221527052.0 申请日: 2022-06-17
公开(公告)号: CN217809775U 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 杨吉祥;金林飞;杨树荣;涂准;字永超;匡志宗;吴文华 申请(专利权)人: 保山隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 代理人: 张子宽
地址: 678000 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型公开一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉,涉及单晶炉技术领域,用于在生长晶棒时夹持晶棒,减轻籽晶和细晶的载荷,规避籽晶或细晶断裂,导致晶棒掉落损坏单晶炉的风险。单晶炉拉晶辅助工装,包括防掉挂件和夹持组件,防掉挂件用于布置于单晶炉内的钨丝绳挂件上方,能够被钨丝绳挂件的上部承托顶起并沿拉晶轴线提升移动。夹持组件的一端转动连接于防掉挂件。夹持组件具有释放状态和夹持状态,在夹持组件接触单晶炉的卡盘时,夹持组件处于释放状态。在钨丝绳挂件的上部顶起防掉挂件,使夹持组件与卡盘脱离接触时,夹持组件处于夹持状态,用于夹持晶棒。单晶炉包括炉体、钨丝绳挂件和上述的工装。
搜索关键词: 一种 单晶炉拉晶 辅助 工装 单晶炉
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