[实用新型]一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉有效
申请号: | 202221527052.0 | 申请日: | 2022-06-17 |
公开(公告)号: | CN217809775U | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 杨吉祥;金林飞;杨树荣;涂准;字永超;匡志宗;吴文华 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 张子宽 |
地址: | 678000 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉拉晶 辅助 工装 单晶炉 | ||
1.一种单晶炉拉晶辅助工装,其特征在于,包括:
防掉挂件,用于布置于所述单晶炉内的钨丝绳挂件上方,能够被所述钨丝绳挂件的上部承托顶起并沿拉晶轴线提升移动;
夹持组件,所述夹持组件的一端转动连接于所述防掉挂件;所述夹持组件具有释放状态和夹持状态,在所述夹持组件接触所述单晶炉的卡盘时,所述夹持组件处于所述释放状态;在所述钨丝绳挂件的上部顶起所述防掉挂件,使所述夹持组件与所述卡盘脱离接触时,所述夹持组件处于所述夹持状态,用于夹持晶棒。
2.根据权利要求1所述的工装,其特征在于,所述夹持组件包括多个夹持杆,多个所述夹持杆沿所述晶棒的周向布设;所述夹持杆的上端与所述防掉挂件转动连接,所述夹持杆的下端用于与所述晶棒夹持配合。
3.根据权利要求2所述的工装,其特征在于,所述夹持杆为L形结构。
4.根据权利要求2所述的工装,其特征在于,所述夹持组件还包括:
磁性吸附单元,每个所述夹持杆靠近所述晶棒的一端均设置有所述磁性吸附单元;
开关,通过开启和断开所述开关控制所述磁性吸附单元相互吸附和解除吸附,以使所述夹持组件在所述夹持状态和所述释放状态之间切换。
5.根据权利要求4所述的工装,其特征在于,所述开关设置于所述夹持杆靠近所述卡盘的一侧;当所述开关与所述卡盘接触时,所述开关控制所述磁性吸附单元解除吸附,使得所述夹持组件处于所述释放状态;当所述开关与所述卡盘脱离接触时,所述开关控制所述磁性吸附单元相互吸附,使得所述夹持组件处于所述夹持状态。
6.根据权利要求4所述的工装,其特征在于,所述磁性吸附单元均为电磁铁;或,至少一个所述磁性吸附单元为电磁铁,其余所述磁性吸附单元为永磁铁。
7.根据权利要求2所述的工装,其特征在于,所述夹持组件还包括耐热板,设置于所述夹持杆靠近所述晶棒的一端。
8.根据权利要求7所述的工装,其特征在于,所述耐热板为云母板。
9.根据权利要求1所述的工装,其特征在于,所述防掉挂件的底部设置有与所述钨丝绳挂件上部配合的凹槽。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括:
炉体,用于生长晶棒,所述炉体内设置有卡盘;
如权利要求1至9任一项所述的工装,设置于所述炉体内,用于在单晶炉内生长晶棒时夹持所述晶棒;
钨丝绳挂件,设置于所述炉体内且位于所述工装的防掉挂件的下方,能够承托顶起所述防掉挂件,并带动所述防掉挂件沿拉晶轴线提升移动。
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