[实用新型]管路供应系统有效
| 申请号： | 202221487953.1 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN218465999U | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 韩景瑞;种涞源;马爽;杨旭腾;李锡光 | 申请（专利权）人： | 东莞市天域半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/16;C30B29/36 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈进芳 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种管路供应系统，包括储液装置、输入单元、稀释单元及输出单元，储液装置包括恒温装置及设于其内的液罐，输入单元包括连接于液罐的一输入管路及设于其上的第一流量控制器，输出单元包括连接于液罐的一输出主管路以及并联于其一端的多个输出支管路，输出主管路上设有第一压力控制器以及流量检测器，各输出支管路上分别设有第三流量控制器，稀释单元包括一稀释管路及设于其上的第二流量控制器，稀释管路的两端分别连接于稀释气源、输出主管路。本实用新型可以实现各输出支管路的流量的分别独立控制以及分配比例调节，尤其适用于大尺寸(8‑12吋)外延炉腔，可在大尺寸外延片的制备中提高浓度均匀性与厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 管路 供应 系统 | ||
【主权项】：
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