[实用新型]管路供应系统

权利要求书

1.一种管路供应系统，适用于碳化硅外延生长系统，其特征在于，包括：

储液装置，其包括恒温装置以及设于所述恒温装置内的液罐，所述恒温装置用于保持所述液罐的温度恒定；

输入单元，其包括一输入管路以及设于所述输入管路上的第一流量控制器，所述输入管路的两端分别密封地连接于载气源及所述液罐，所述第一流量控制器用于控制所述输入管路的流量；

稀释单元，其包括一稀释管路以及设于所述稀释管路的第二流量控制器，所述稀释管路的一端连接于稀释气源，所述第二流量控制器用于控制所述稀释管路的流量；

输出单元，其包括一输出主管路以及并联于其一端的多个输出支管路，所述输出主管路的另一端密封地连接于所述液罐，且所述输出主管路上设有第一压力控制器以及流量检测器，所述第一压力控制器用于保持所述液罐的压力恒定，所述流量检测器用于检测所述输出主管路的流量，各所述输出支管路上分别设有第三流量控制器，所述第三流量控制器用于控制其所在的所述输出支管路的流量，所述稀释管路连接于所述第一压力控制器、所述流量检测器之间。

2.如权利要求1所述的管路供应系统，其特征在于，所述输出主管路包括第一主管段及第二主管段，所述第一主管段、所述第二主管段、所述稀释管路的一端相连接，所述第一主管段的另一端密封地连接于所述液罐，所述第二主管段的另一端与多个所述输出支管路相连，所述第一压力控制器设于所述第一主管段，所述流量检测器设于所述第二主管段。

3.如权利要求2所述的管路供应系统，其特征在于，所述输出单元还包括一混合腔，所述混合腔分别与所述第一主管段、所述第二主管段、所述稀释管路相连接。

4.如权利要求1-3任一项所述的管路供应系统，其特征在于，所述输出单元还包括一排空管路，所述排空管路与所述输出支管路并联于所述输出主管路，并且所述排空管路上设有第二压力控制器。

5.如权利要求1所述的管路供应系统，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别电连接于所述第一流量控制、所述第三流量控制以及所述流量检测器。

6.如权利要求5所述的管路供应系统，其特征在于，所述控制器还电连接于所述第二流量控制，所述控制器还用于获取所述第二流量控制器的流量以控制所述稀释管路内的稀释气体的流量。

7.如权利要求1所述的管路供应系统，其特征在于，所述第一流量控制器、所述第二流量控制器、所述第三流量控制器均为质量流量计，所述流量检测器为流量计。