[实用新型]一种具有刹车装置的晶片研磨设备

摘要

本实用新型针提供了一种具有刹车装置的晶片研磨设备，包括机架、设置于机架内部的下磨盘组件、设置于下磨盘组件中心位置的太阳轮、固定设置于太阳轮上部的拨轮、设置于下磨盘正上方且受拨轮驱动转动的上磨盘组件和驱动太阳轮和下磨盘组件转动实现晶片研磨的驱动装置，下磨盘组件与太阳轮之间还设置有用于放置晶片的游轮，驱动装置包括驱动电机、设置于机座底部的变速箱体和设置于变速箱体内受驱动电机驱动的传动轮组，传动轮组包括主动轮和与主动轮啮合且反向转动的从动轮。一种具有刹车装置的晶片研磨设备调节方便，刹车效果好，通过刹车机构对刹车片的松紧调节，有效的避免主动轮变速时容易反转的问题，进而避免磨盘内游轮的损坏。