[实用新型]一种具有刹车装置的晶片研磨设备

权利要求书

1.一种具有刹车装置的晶片研磨设备，其特征在于：包括机架、设置于机架内部的下磨盘组件、设置于下磨盘组件中心位置的太阳轮、固定设置于太阳轮上部的拨轮、设置于下磨盘正上方且受拨轮驱动转动的上磨盘组件和驱动太阳轮和下磨盘组件转动实现晶片研磨的驱动装置，所述下磨盘组件与太阳轮之间还设置有用于放置晶片的游轮，所述驱动装置包括驱动电机、设置于机座底部的变速箱体和设置于变速箱体内受驱动电机驱动的传动轮组，所述传动轮组包括主动轮和与主动轮啮合且反向转动的从动轮，主动轮和从动轮通过同步皮带分别连接于下磨盘组件和太阳轮，所述主动轮侧面设置有可以通过调节避免主动轮反转的刹车装置。

2.根据权利要求1所述的一种具有刹车装置的晶片研磨设备，其特征在于：所述刹车装置包括固定设置于机架顶部的旋钮架、转动设置于旋钮架内的旋钮、一端与旋钮活动卡接并受所述旋钮旋转调节的调节座、连接于调节座另一端的钢丝绳和与钢丝绳另一端卡接并受钢丝绳牵引实现对主动轮刹车动作的刹车组件，所述调节座滑动卡接于旋钮架内，所述钢丝绳外部设置有固定连接于机架上供钢丝绳穿过的钢丝绳套。

3.根据权利要求2所述的一种具有刹车装置的晶片研磨设备，其特征在于：所述刹车组件包括固定设置于机架底部且与变速箱体平行的挡板、固定设置于挡板顶部的导向架、设置于导向架上且靠近所述主动轮一侧的刹车片、一端嵌入导向架内且能顶进刹车片靠近主动轮的刹车杆和与机架固定连接供刹车杆铰接的夹环，所述刹车片一端固定连接于挡板表面另一端活动设置于刹车杆的运动路径上，所述刹车杆端部设置有供钢丝绳牵引实现刹车杆运动的连接部。

4.根据权利要求3所述的一种具有刹车装置的晶片研磨设备，其特征在于：所述导向架为内部中空结构，所述刹车杆呈“7”字形，刹车杆前端为前窄后宽的结构，导向架内部活动设置有供刹车杆复位的复位弹簧，导向架两侧对称开设有供所述刹车杆活动的开口，开口的形状与刹车杆前端的外轮廓形状相适配。

5.根据权利要求2所述的一种具有刹车装置的晶片研磨设备，其特征在于：所述调节座一端与旋钮架底部的钢丝绳卡接，另一端与穿过旋钮架的旋钮螺纹连接，所述旋钮通过旋转带动调节座在旋钮架内活动进而对钢丝绳拉升实现刹车动作。