[实用新型]CVD十字托架工装

摘要

本实用新型公开了一种CVD十字托架工装，包括十字形支撑架，所述支撑架的底部设有一凸出部，用于卡接在沉积炉内的支撑环上，所述支撑架的顶部设有沿中心向四个支部的外端延伸的轨道，每个所述支部的所述轨道上均设有可沿所述轨道移动的支撑组件，通过调整各所述支撑组件之间的距离可使所述支撑组件共同支撑不同尺寸的工件。本实用新型的CVD十字托架工装整体采用了十字形结构，并且在十字形托架四个支部上均设有可移动的支撑组件，通过灵活调整各支撑组件之间的距离，从而实现支撑不同内径尺寸的工件。