[实用新型]CVD十字托架工装

说明书

本实用新型公开了一种CVD十字托架工装，包括十字形支撑架，所述支撑架的底部设有一凸出部，用于卡接在沉积炉内的支撑环上，所述支撑架的顶部设有沿中心向四个支部的外端延伸的轨道，每个所述支部的所述轨道上均设有可沿所述轨道移动的支撑组件，通过调整各所述支撑组件之间的距离可使所述支撑组件共同支撑不同尺寸的工件。本实用新型的CVD十字托架工装整体采用了十字形结构，并且在十字形托架四个支部上均设有可移动的支撑组件，通过灵活调整各支撑组件之间的距离，从而实现支撑不同内径尺寸的工件。

技术领域

本实用新型属于CVD设备领域，尤其涉及一种CVD十字托架工装。

背景技术

化学气相沉积(CVD)是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。随着晶硅材料技术的发展，在西门子法多晶硅技术为主流的当下，颗粒硅流化床技术迅速崛起。流化床内件石墨筒也呈现出内径大小各异的应用特点。因此，石墨筒工件在气相沉积炉内如何固定，以便于对其进行气相沉积涂层，从而满足流化床内件的使用要求，是工装设计需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种CVD十字托架工装，旨在解决现有的CVD工装存在的上述问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的CVD十字托架工装，其包括十字形支撑架，所述支撑架的底部设有一凸出部，用于卡接在沉积炉内的支撑环上，所述支撑架的顶部设有沿中心向四个支部的外端延伸的轨道，每个所述支部的所述轨道上均设有可沿所述轨道移动的支撑组件，通过调整各所述支撑组件之间的距离可使所述支撑组件共同支撑不同尺寸的工件。

进一步地，所述支撑架包括若干块支撑板，所述支撑板的底部设有用于与所述支撑环卡接的所述凸出部；所述若干块支撑板包括横向设置的第一支撑板与纵向设置的第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板可拆卸地呈十字形交叉连接以形成所述四个支部。

进一步地，所述若干块支撑板包括至少两块并排且平行设置的第一支撑板与至少两块并排且平行设置的第二支撑板，相邻两所述支撑板之间相隔一定距离并形成所述轨道；所述支撑组件架设于所述轨道上且底部延伸至所述轨道的轨道槽内，以便支撑组件沿所述轨道移动。

进一步地，所述第一支撑板的中间部分设有至少两个开口向下的第一插槽，所述第二支撑板的中间部分设有至少两个开口向上的且与所述第一插槽相适配的第二插槽，所述第一支撑板与所述第二支撑板通过相互插接的方式实现可拆卸连接，其中，所述第一插槽和所述第二插槽的数量分别与所述第二支撑板和所述第一支撑板的数量相对应。

进一步地，所述若干块支撑板包括七块第一支撑板与七块第二支撑板；所述第一支撑板的中间部分设有七个均匀分布的所述第一插槽，所述第二支撑板的中间部分设有七个均匀分布的所述第二插槽；各所述支撑板拼接之后所形成的四个支部中每个支部形成有六个间隔相同的所述轨道。

进一步地，所述支撑组件包括架设于所述轨道上的支撑块以及设在所述支撑块上的支撑杆，所述支撑块上设有螺纹通孔，所述支撑杆底部设有螺孔并与螺栓的一端相连，所述螺栓另一端连接于所述螺纹通孔并贯穿延伸至所述轨道槽内，且通过螺母锁紧。

进一步地，所述支撑组件包括两所述支撑杆，所述支撑块架设于整排所述轨道上，两所述支撑杆分别设于所述支撑块的两端且分别被固定于同排最外侧的两轨道上。

进一步地，所述支撑杆为锥形结构，其包括呈圆柱状的下半部以及呈圆锥状的上半部。

进一步地，述支撑架还包括定位组件，所述定位组件包括两端设有固定孔的定位板及可插入所述固定孔的插销；所述支撑板的两端均设有定位孔，所述定位板贯穿位于同一支部的各所述支撑板的定位孔，所述插销插入所述固定孔以将位于同一支部的多个所述支撑板进行固定。

进一步地，整个所述CVD十字托架工装采用碳碳复合材料制成。