[实用新型]一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置

摘要

本实用新型的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，探针套筒的套筒限位部设置在套筒腔体的底端，探针弹簧套设在套筒腔体内；探针针轴的针轴卡接部设置在针轴本体的上部，针轴本体的上部套设在套筒腔体内且所述针轴卡接部卡设在套筒限位部之上，针轴端部设置在针轴本体的底端且与石墨烯薄膜材料接触。探针顶端封盖设置在套筒腔体的顶端，探针弹簧的一端与探针顶端封盖相抵，探针弹簧的另一端与探针针轴的顶端平面相抵。针对不同膜厚的石墨烯薄膜材料设计不同的探针端部，精度高，测量结果稳定。使用探针装置测量石墨烯薄膜材料的电阻率，可大大减小对石墨烯薄膜材料表面的破坏，可实现在不同测试原理或不同仪器上多次使用同材料进行测量。