[实用新型]一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置

权利要求书

1.一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，包括同轴设置的探针针轴(4)、探针套筒(3)、探针弹簧(2)和探针顶端封盖(1)，所述探针套筒(3)包括套筒腔体(301)和套筒限位部(302)，所述套筒限位部(302)设置在套筒腔体(301)的底端，所述探针弹簧(2)套设在套筒腔体(301)内；

所述探针针轴(4)包括针轴本体(401)、针轴卡接部(402)和针轴端部(403)，所述针轴卡接部(402)设置在针轴本体(401)的上部，所述针轴本体(401)的上部套设在套筒腔体(301)内且所述针轴卡接部(402)卡设在套筒限位部(302)之上，所述针轴端部(403)设置在针轴本体(401)的底端且与石墨烯薄膜材料接触；

所述探针顶端封盖(1)设置在套筒腔体(301)的顶端，所述探针弹簧(2)的一端与探针顶端封盖(1)相抵，所述探针弹簧(2)的另一端与探针针轴(4)的顶端平面相抵。

2.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针顶端封盖(1)包括封盖本体(101)、封盖顶端(102)和封盖连接部(103)，所述封盖连接部(103)设置在封盖本体(101)的底端中心，所述封盖连接部(103)自套筒腔体(301)的顶端插入其内，所述封盖顶端(102)焊接导电线。

3.根据权利要求2所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述封盖连接部(103)的外径与套筒腔体(301)的内径相同。

4.根据权利要求3所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针弹簧(2)包括弹簧本体(201)和由弹簧本体(201)围成的弹簧腔体(202)，所述弹簧腔体(202)的外径与套筒腔体(301)的内径相同。

5.根据权利要求4所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针针轴(4)的针轴端部(403)为弧度不同的圆截面半球状弧面或圆截面状平面。

6.根据权利要求5所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述针轴端部(403)为半球针尖夹角为150°-100°。

7.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述针轴卡接部(402)的外径与套筒腔体(301)的内径相同。

8.根据权利要求7所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述针轴卡接部(402)的棱角均采用倒圆角处理。

9.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针顶端封盖(1)、探针弹簧(2)、探针套筒(3)和探针针轴(4)的材质均具有导电性能。