[实用新型]一种通用型机械手的传片测试装置

摘要

本实用新型涉及一种通用型机械手的传片测试装置，包括机架一、机架二，两者通过限位杆相连；机架一的数量为一个，机架二的数量包括但不限于两个；机械手装在机架一顶部中心位置，校准机构装在机架二顶部安装孔处。限位杆通过一端连接在机架一顶部基板上不同排布角度的限位槽，另一端连接在机架二顶部基板上不同间距的限位槽，实现机械手不同角度、不同行程传送晶圆的模拟测试；校准机构通过检测机械手放置晶圆的位置，来判断机械手传片的精度和可靠性；本实用新型可以满足机械手在大气环境下，对于不同行程、不同角度取放片的模拟测试要求，模块化设计，通用性强。